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日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

簡要描述:日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號:GR90A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:182
詳情介紹

日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

規(guī)格

型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力(排出圧力)Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理
電機輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質(zhì)量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力
MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差
MPa>0.1
冷卻水溫度10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側(cè)
供給圧力
MPa0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3
MPa0.05 to 0.1 (運作時)
SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。



配件

型號材質(zhì)表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB處理4.1KF40-
RS-01+
套件C
SUS304GBB處理8.3KF40--



排氣速度曲線

日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列




尺寸圖

  • GR60日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

  • GR90A日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

  • GR180日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列



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