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進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

簡要描述:進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號:HR600
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-10
  • 訪  問  量:301
詳情介紹

進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

特點(diǎn)

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型號HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
排氣速度
50Hzm3/h
(L/min)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
(L/min)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到達(dá)壓力Pa50.67
最大排氣壓力
(吸入圧力)

大氣壓 *1
最大排氣壓力
(吸入圧力)
Pa1~ 大氣壓
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質(zhì)量kg180245275370420
電源三相VAC
(Hz)
200(50/60), 220(60)
電流值穩(wěn)定時(shí)A7.1
(at 200V)
11.2
(at 200V)
7.8
(at 200V)
12.9
(at 200V)
15.4
(at 200V)
最大值A7.3
(at 200V)
11.8
(at 200V)
8.1
(at 200V)
13.8
(at 200V)
18.9
(at 200V)
冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
冷卻水出入口壓差MPa>0.1
冷卻水流量L/min>5.0
吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
二次壓力MPa0.05~0.1
N2吹掃SLM5
氣鎮(zhèn)SLM0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。




尺寸圖

  • HR60進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

  • HR90進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

  • HR180進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

  • HR300進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

  • HR600進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵

  • HR1200進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 HR1200 多級羅茨真空泵



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