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ULVAC愛發(fā)科 SH200-A 電離真空計設(shè)備

簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 SH200-A 電離真空計設(shè)備
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:新品現(xiàn)貨
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-27
  • 訪  問  量:258
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 SH200-A 電離真空計設(shè)備

ULVAC愛發(fā)科 SH200-A 電離真空計設(shè)備

操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

規(guī)格

型號SH200-ASH200-RHT200-E
(即將上市)
規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格串口通信規(guī)格EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器多離子傳感器:1本
皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選)
大其他傳感器SAU:1本(可選)
測量精度(N2SH200本體模式:±2%
取樣時間60ms 5回 移動平均処理
測定値出力出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間60msec
控制輸入信號FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負(fù)邏輯
* FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異
--
制御出力信號傳感器錯誤,設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
--
串行通信規(guī)格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED顯示POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V
測量部耐圧性2×10+5Pa (絕對壓力)
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用溫度范圍10~50℃
使用濕度范圍15~80%(不結(jié)露)
保管溫度-20~65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護(hù)等級IP30
電源電壓DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 
8W以下
輸入/輸出連接器D-sub15銷(M2.6螺絲)
重量調(diào)節(jié)器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格CE
選項多離子傳感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì):燈絲1,2 -Ir/Y2O3
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
皮拉尼真空計傳感器SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
皮拉尼真空計SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì):燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
大氣壓傳感器SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L
單位電纜GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
顯示單元1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
顯示單元電纜SH200~顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲))
其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書


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