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ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元

簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

  • 產(chǎn)品型號:全新進(jìn)口
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-27
  • 訪  問  量:218
詳情介紹

ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元

ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元

操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

真空防潮箱由真空泵制造商提供。

特點

  • 傳感器規(guī)格:如果需要壓力
    ·空白計劃降低
    ·控制板空間節(jié)省
    ·配線簡化

  • 確定子更換眼睛

  • 燈絲采用耐腐蝕材料鉑

  • 其中一個使用的測量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用

  • 可以輸出2個設(shè)定點

  • SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)

  • 電源電壓:24 VDC輸入

目的

  • 用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

  • 用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

  • 用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

規(guī)格

類型傳感器單元
模型SP1
兼容傳感器頭WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

準(zhǔn)確性


±15 %(51帕~760帕)
±30 %(10帕~1000帕)
±50 %(0.4帕~3000帕)
工作溫度范圍10~40℃
測量值輸出非線性輸出:0至5VDC(最大10V)
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器非線性輸出:0至5VDC(最大10V)
控制輸出信號開路集電極輸出,負(fù)邏輯
錯誤信號
設(shè)定點 1/2
LED 顯示屏電源、錯誤、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2
電源電壓DC24V±2V, 90mA(最大)
輸入/輸出連接器D-sub-15P(M2.6螺絲)
重量190g /0.41lb(不包括傳感器頭)

標(biāo)準(zhǔn)配件

輸入/輸出連接器 1個
快速手冊 1本

IO和模擬GND與電源GND不隔離。


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