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進口ULVAC愛發(fā)科 標準渦輪分子泵UTM?B系列

簡要描述:進口ULVAC愛發(fā)科 標準渦輪分子泵UTM?B系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產(chǎn)品型號:UTM70B
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:250
詳情介紹

進口ULVAC愛發(fā)科 標準渦輪分子泵UTM?B系列

進口ULVAC愛發(fā)科 標準渦輪分子泵UTM?B系列

使用 安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

 特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制,擴展了設備設計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設備、研究開發(fā)設備、實驗設備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設備、濺射設備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

型號UTM70BUTM300B
泵體冷卻方式自然空冷強制空冷自然空冷強制空冷
法蘭口徑吸氣口*1VG65, ICF114, ISO063-KVG100, ICF152, ISO100-K
排氣口KF16KF16
排氣速度
(無防護網(wǎng)時)
N270 L/s280 L/s
He60 L/s270 L/s
H249 L/s220 L/s
到達壓力 *2烘烤后- *310-8Pa- *310-8Pa
烘烤10-6Pa10-6Pa10-6Pa
最大壓縮比N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105
最大吸氣口壓力
*4, *5, *6
N20.43Pa1.1Pa0.06Pa0.7Pa
最大排氣口壓力
*4, *5, *7
N2300Pa900Pa100Pa1000Pa
連續(xù)運轉(zhuǎn)
最大流量
*8
無排放
氣體
N215sccm *940sccm *910sccm *10100sccm *10
無排放
氣體
Ar-10sccm *9-30sccm *10
有排放
氣體
-15sccm *9-40sccm *10
推薦輔助泵
(10SCCM吸引時 ) *11
>60L/min>120L/min
質(zhì)量VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg6.0kg / 9.0kg6.3kg / 9.3kg
回轉(zhuǎn)數(shù)87000rpm60000rpm
啟動時間(Up to 80%)
(DC24V 背圧:5Pa以下時)
1.7 min3.5 min
表面處理 *12
安裝方向安裝可能
噪音 *13<48dB(A)<50dB(A)
控制器輸入電源DC24V ±5%, 120WDC24V ±5%, 180W
觸點輸入輸出REMOTE(D-sub 15針公頭)數(shù)字輸入/輸出4點,模擬輸出1點
串行通信RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用)
LED顯示POWER,NORMAL,ALARM
開關(guān)START/STOP,RESET
回轉(zhuǎn)數(shù)可變機能在泵規(guī)定回轉(zhuǎn)數(shù)25%~100%間、可以變更運轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)數(shù)。(設定為0.1%單位)
異常檢測報警,檢測警告內(nèi)容
保護動作報警,顯示警告內(nèi)容
標準附屬品使用說明書(CD-R)、防護網(wǎng)(僅限VG、ICF。ISO法蘭的已組入墊片)、
墊片(吸氣口用)、防塵帽(吸氣口、排氣口、連接器用)各1個
合格標準CE, TUVus
*1訂購時請選擇吸氣口法蘭。
*2使用2段式輔助泵時
*3僅限于使用ICF法蘭強制空冷時才能烘烤。
*4周圍溫度為25°C時的值。允許值隨周圍溫度變化而變化。
*5不能同時滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力。
*6為可連續(xù)排氣的最大吸氣口壓力。
*7來自進氣口的排氣流量為0sccm時的可連續(xù)運行的排氣口的最大壓力。
*8周圍溫度為5~25°C時的值。排放氣體請使用N2以25sccm進行。
*9以60L/min使用輔助泵時的值。
*10以120L/min使用輔助泵時的值。
*11氣體量較大時,在選擇輔助泵時請保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。
*12請勿流入反應性氣體、腐蝕性氣體、含Ga氣體。其他相關(guān)問題請聯(lián)系我們。
*13ISO法蘭型。依據(jù)本公司的測量方法。


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