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池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器

簡要描述:池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號:EC-5104
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:239
詳情介紹

池田屋HORIBA堀場  排氣壓力控制器

池田屋HORIBA堀場  排氣壓力控制器

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定

配備質(zhì)量

流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器,可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實際流量。

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進行類似的設(shè)計和構(gòu)造。

符合RoHS指令

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。

采用全金屬結(jié)構(gòu)(氣體接觸部分)和無死體積結(jié)構(gòu),可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。


EC-5104

互動規(guī)模西北40
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)

20升/分鐘

 

可滾動的

EC-5105

互動規(guī)模西北50
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.6~200升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
25升/分鐘
可滾動的

EC-5202

互動規(guī)模25mm Teflon® 接頭
1 英寸 Teflon® 接頭
氣體接觸材料PTFE、PEEK、Viton®
電導(dǎo)
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
3升/分鐘
可滾動的

 




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