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全新HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)設(shè)備 GR-300系列

簡要描述:全新HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)設(shè)備 GR-300系列
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號:GR-312F
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:415
詳情介紹

全新HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)設(shè)備 GR-300系列

全新HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)設(shè)備 GR-300系列

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定

配備質(zhì)量

流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器,可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實際流量。

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進行類似的設(shè)計和構(gòu)造。

符合RoHS指令

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。

采用全金屬結(jié)構(gòu)(氣體接觸部分)和無死體積結(jié)構(gòu),可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠(yuǎn)程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。




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