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通用HORIBA堀場(chǎng) 高精度膜流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述:通用HORIBA堀場(chǎng) 高精度膜流量計(jì)
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號(hào):SF-1U
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-07
  • 訪  問(wèn)  量:171
詳情介紹

通用HORIBA堀場(chǎng) 高精度膜流量計(jì)

通用HORIBA堀場(chǎng) 高精度膜流量計(jì)

在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級(jí)別,

尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空(高壓)操作

當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa(對(duì)于 2-65 m/z 傳感器)時(shí),無(wú)需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過(guò)濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換,無(wú)需拆卸設(shè)備。

一臺(tái)安裝了專用通信

軟件的 PC 通過(guò) RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開(kāi)發(fā)的,可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

這是質(zhì)量流量計(jì)專用的監(jiān)控單元。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規(guī)格

流量報(bào)警輸出功能 外部輸出:集電極開(kāi)路

流量信號(hào)輸出:0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源:AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸:48(W) x 96(H) x 170(D)mm(不包括突出部分)

適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn):符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性:符合 RoHS 指令

兼容數(shù)字/模擬通信模型

顯示單元

這是一個(gè)以數(shù)字方式顯示流量和壓力信號(hào)(0 至 5VDC)的裝置。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

高精度薄膜流量計(jì)SF-1U/2U
展示LDC 6位數(shù)字顯示(可切換顯示測(cè)量流量、測(cè)量時(shí)間、溫度、設(shè)定壓力等)
自動(dòng)測(cè)量功能在自動(dòng)模式下執(zhí)行自動(dòng)測(cè)量和平均值計(jì)算2至10次(可以調(diào)用先前存儲(chǔ)的數(shù)據(jù);關(guān)閉電源會(huì)清除電源)
工作環(huán)境速度5~40℃ 精度保證范圍(15~30℃)
外部輸入/輸出符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn)
電源AC適配器(DC7V)驅(qū)動(dòng)
可滾動(dòng)的
卷管裝置VP-1U
流量測(cè)量范圍0.2~10mL/分鐘
準(zhǔn)確性0.5%(±1%)0.2~2mL/min(2~10mL/min)
目標(biāo)氣體N2 、空氣、O2 、 H2 、 He  Ar、CO 、CH4C3H8

注)不能測(cè)量水溶性氣體和腐蝕性氣體。

環(huán)境溫度5~40℃ 精度保證范圍(15℃~35℃)
外部輸入/輸出符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn)
可滾動(dòng)的
體積管單元VP-2U
流量測(cè)量范圍2~100mL/分鐘
準(zhǔn)確性0.5%(±1%)2~20mL/min(20~100mL/min)
目標(biāo)氣體N2 、空氣、O2 、 H2 、 He  Ar、CO 、CH4、C3H8

注)不能測(cè)量水溶性氣體和腐蝕性氣體。

環(huán)境溫度5~40℃ 精度保證范圍(15℃~35℃)
外部輸入/輸出符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn)
可滾動(dòng)的
體積管單元VP-3U
流量測(cè)量范圍20~1000mL/分鐘
準(zhǔn)確性0.5%(±1%)20~200mL/min(200~1000mL/min)
目標(biāo)氣體N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4C3H8

注)不能測(cè)量水溶性氣體和腐蝕性氣體。

環(huán)境溫度5~40℃ 精度保證范圍(15℃~35℃)
外部輸入/輸出符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn)
可滾動(dòng)的
卷管裝置VP-4U
流量測(cè)量范圍0.2~10L/分鐘
準(zhǔn)確性0.5%(±1%)0.2~1升/分鐘(1~10升/分鐘)
目標(biāo)氣體N2 、空氣、O2  H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8

注)不能測(cè)量水溶性氣體和腐蝕性氣體。

環(huán)境溫度5~40℃ 精度保證范圍(15℃~35℃)
外部輸入/輸出符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn)


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