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日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計監(jiān)控單元

簡要描述:日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計監(jiān)控單元
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號:PE-D10
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:321
詳情介紹

日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計監(jiān)控單元

日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計監(jiān)控單元

在整個流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級別,

尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空(高壓)操作

當(dāng)測量總壓力高達(dá) 0.5 Pa(對于 2-65 m/z 傳感器)時,無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換,無需拆卸設(shè)備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的,可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

 這是質(zhì)量流量計專用的監(jiān)控單元。

業(yè)務(wù)部門:半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規(guī)格

流量報警輸出功能 外部輸出:集電極開路

流量信號輸出:0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源:AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸:48(W) x 96(H) x 170(D)mm(不包括突出部分)

適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn):符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性:符合 RoHS 指令

兼容數(shù)字/模擬通信模型


















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