久久久久久九九99精品,无码专区一VA亚洲V专区在线,成人无码一区二区三区,7777精品伊久久久大香线蕉

銷售咨詢熱線:
17607554908
產(chǎn)品中心
首頁 > 產(chǎn)品中心 > > HORIBA堀場(chǎng) > 日本HORIBA堀場(chǎng) 通用氣體濃度監(jiān)測(cè)儀

日本HORIBA堀場(chǎng) 通用氣體濃度監(jiān)測(cè)儀

簡要描述:日本HORIBA堀場(chǎng) 通用氣體濃度監(jiān)測(cè)儀
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

  • 產(chǎn)品型號(hào):IR-312M
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-07
  • 訪  問  量:182
詳情介紹

日本HORIBA堀場(chǎng) 通用氣體濃度監(jiān)測(cè)儀

日本HORIBA堀場(chǎng) 通用氣體濃度監(jiān)測(cè)儀

隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細(xì)加工的進(jìn)步,處理后保持腔室清潔對(duì)于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)廢氣成分(SiF4、CF4)。通過優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測(cè)、減少清潔氣體消耗和時(shí)間以及減少室損壞,有助于延長零件的使用壽命。

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級(jí)別,

尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空(高壓)操作

當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa(對(duì)于 2-65 m/z 傳感器)時(shí),無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換,無需拆卸設(shè)備。

一臺(tái)安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的,可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

















留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
中文字幕亚洲一区二区VA在线| 变态抽搐顶弄h| 亚洲AV毛片一区二区三区| 亚洲熟女av中文字幕男人总站| 40岁成熟女人牲交片20分钟| 可脱卸衣服的游戏| 欧美+日本+国产| 亚洲妇女无套内射精| 十八禁久久成人一区二区 | 色窝窝无码一区二区三区| 亚洲国产高清国产拍精品| 久久久久久久综合狠狠综合| 又湿又黄裸乳漫画无遮挡网站| 手机电影在线观看| 精品国产AⅤ一区二区三区| 国产精品亚洲一区二区| 人人妻人人澡人人爽欧美二区 | 日本真人做爰免费视频120秒| 好大好硬快点受不了了| 伊人精品成人久久综合| 年轻的母亲 韩国| 亚洲国产高清国产拍精品| 最近韩国日本免费观看MV| 体育生gary猛烈gary| 日本三级在线观看| 99精产国品一二三产区区| 1314女人裸体a片| 久久精品国产亚洲AV高清色欲| 无码精品人妻一区二区三区人妻斩| 超碰97久久国产精品牛牛| 男人tv天堂精品一区二区| 丰满少妇潮喷18p| 国产精品理论片在线观看| 狠狠噜天天噜日日噜视频麻豆| 中文字幕无码av波多野吉衣| 爱的色放在线观看| 性肥胖bwbwbw| suntek中老年人女妈妈秋装| 两片肥厚乌黑的陰唇| 少妇又紧又深又湿又爽视频| 欧美日韩国产|