全新HORIBA堀場 數(shù)字質量流量控制器 SEC-Z500X系列

全新HORIBA堀場 數(shù)字質量流量控制器 SEC-Z500X系列

 數(shù)字質量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內高速響應、5SCCM～500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質量流量控制器不僅適用于先進工藝，而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側更改。通過減少備件數(shù)量，有助于降低成本。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保證高精度

±1.0% SP（設定點）

1秒內高速響應

全量程（T98） 

尺寸緊湊，

面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃氣面板。

采用超潔凈兼容

氣體接觸部分，全不銹鋼結構，標準內部拋光處理。

日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質量流量控制器適用于提高工藝產量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。

日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質量流量控制器產品簡介：

SEC-Z500X是HORIBA暢銷的數(shù)字質量流量控制器模型。它具有多范圍/多氣體功能，使用戶能夠快速、方便地改變氣體類型或現(xiàn)場全流量。

該質量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、壓電致動閥、高速響應和全金屬特性，適用于提高工藝產量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。