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全新ORC歐阿希 VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備

簡要描述:全新ORC歐阿希 VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。

  • 產(chǎn)品型號:VUM3500
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-06
  • 訪  問  量:294
詳情介紹

全新ORC歐阿希  VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備

全新ORC歐阿希  VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備

它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。


這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。

采用254nm波長, 去除電荷。

單波長允許低溫處理。

用低入射角紫外線有效照射目標(biāo)區(qū)域。

提高了LSI的成品率和可靠性。

閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數(shù)據(jù)擦除。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量??梢暂p松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。


模型VUM-3500
晶圓尺寸Φ300毫米(標(biāo)準(zhǔn))
同時處理數(shù)15 件
盒式磁帶格式晶圓傳送盒
晶圓運(yùn)輸自動輸送
燈數(shù)量20 件
照度測量自動測量

 


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