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全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備

簡(jiǎn)要描述:全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備。
請(qǐng)使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PPS8200P1
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-08-06
  • 訪  問  量:244
詳情介紹

全新ORC歐阿希  PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備 

全新ORC歐阿希  PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備 

它是一種小型輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備。
請(qǐng)使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。


這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量。可以輕松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備。
請(qǐng)使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。


這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量??梢暂p松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用(或計(jì)劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。


模型PPS-8200p1/8300p1
晶圓尺寸6/8/12英寸
解決2.0 µmL/S(2.0 µm 抗蝕劑厚度)
NA(數(shù)值孔徑)0.16、0.1 變量
減速比1:1
場(chǎng)地大小52毫米×33毫米
曝光波長(zhǎng)ghi-Line gh-line i-line(食譜鏈接)
標(biāo)線尺寸6寸
疊加精度≤0.5 µm(|平均|+3σ)
設(shè)備尺寸/重量(寬)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg
主要選項(xiàng)背面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
晶圓周邊曝光系統(tǒng)
晶圓周邊非曝光系統(tǒng)
薄晶圓輸送系統(tǒng)
兼容GEM通信
內(nèi)聯(lián)兼容



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